超高壓氣動比例減壓閥的原理如圖所示，該減壓閥采用出口壓力電反饋的方式。由閥的主體結(jié)構(gòu)、壓力傳感器和控制器三個主要部分構(gòu)成。氣動比例減壓閥輸出壓力的調(diào)節(jié)通過調(diào)節(jié)調(diào)壓腔的壓力，改變氣動活塞的受力狀況，產(chǎn)生相應(yīng)的位移從而改變主閥的開度，達到調(diào)節(jié)輸出壓力的目的。調(diào)壓腔壓力的控制則是通過壓力傳感器檢測輸出壓力與設(shè)定壓力的偏差，經(jīng)控制器給出控制信號控制比例電磁鐵，調(diào)節(jié)先導(dǎo)閥閥口的開度，改變流入調(diào)壓腔的流量，從而達到調(diào)節(jié)調(diào)壓腔壓力的目的，穩(wěn)態(tài)工作時調(diào)壓腔進出口的流量相當(dāng)，調(diào)壓腔氣體的壓力處于動態(tài)平衡狀態(tài)所。

圖2-1高壓氣動比例減壓閥原理簡圖

設(shè)計的氣動比例減壓閥主體的外形圖如圖2-2所示，該減壓閥在排氣口和進氣口分別設(shè)置有高精度的高壓壓力傳感器，其中出口端的高壓壓力傳感器用于檢測輸出壓力，做壓力閉環(huán)反饋控制，進氣端的高壓壓力傳感器用于檢測輸入壓力，作為控制器的一項重要參數(shù)來調(diào)節(jié)輸出控制信號。另為了進一步分析減壓閥的工作機理，在氣動比例減壓閥的調(diào)壓腔設(shè)置了一個壓力傳感器用于監(jiān)測調(diào)壓腔的壓力變化。由于該型減壓閥尚處于探索性研究階段，所設(shè)計的數(shù)字控制器末與減壓閥集成于一體，而是采用通用的比例放大電路板加多功能數(shù)據(jù)采集卡加計算機的模式來實現(xiàn)。

超高壓氣動比例減壓閥從功能上該閥的結(jié)構(gòu)可分為先導(dǎo)閥級和主閥級兩大部分。

主閥級部分，壓力反饋腔內(nèi)裝主閥芯彈簧K，彈簧下接主閥閥芯，主閥閥芯推桿的另一端與氣動活塞相接觸，使得調(diào)壓腔的壓力變化帶來的活塞位移信號能傳遞給主閥閥芯。主閥閥芯和主閥芯推桿上端中心均開有細長孔，連通排氣腔b和壓力反饋腔f，使得兩腔的氣體相通，反饋腔的壓力與排氣腔的壓力近似相等，部分平筏主閥芯兩端所受的壓力，同時具有對主閥閥芯緩沖減振的功能。主閥芯在反饋腔的受壓面積小于其在排氣腔一側(cè)的受壓面積，二者的面積差為進氣腔氣體壓力作用面積，由于進氣壓力大于排氣壓力，故在該氣體壓力與彈簧的預(yù)緊力共同作用下，使得當(dāng)減壓閥處于非工作狀態(tài)時，主閥閥口得到足夠的密封壓緊力，而無需使用剛度很大的預(yù)緊彈簧，同時使得穩(wěn)態(tài)工作時，調(diào)壓腔的壓力必須略高于排氣腔的壓力(否則，氣動活塞無法取得足夠的力定開主閥閥口)，保證先導(dǎo)氣路的正常工作。

先導(dǎo)級部分，先導(dǎo)閥閥芯采用兩級節(jié)流口串聯(lián)的滑閥形式，并且采用了閥套的結(jié)構(gòu)方式。采用滑閥結(jié)構(gòu)具有移動的導(dǎo)向性好，容易利用端面作為反饋力的作用面而不受進氣端高壓氣體產(chǎn)生的密封壓力作用，先導(dǎo)閥靈巧反應(yīng)快，且采用非全周閥El易于構(gòu)成較小的通流斷面，而且閥El無沖擊等特點。不足之處是帶來了微量的氣體泄漏問題。閥門采用正遮蓋的方式，調(diào)節(jié)比例放大板的偏值電流改變閥口的遮蓋量。比例電磁鐵由一個PI控制器控制，PI控制器的參數(shù)不是固定的，而是隨著設(shè)定的輸出壓力和輸入壓力變化而變化，以適應(yīng)大范圍調(diào)節(jié)壓力的要求。

氣動比例減壓閥輸出壓力的調(diào)節(jié)，通過調(diào)節(jié)調(diào)壓腔的壓力來實現(xiàn)。不考慮泄漏因素影響，影響調(diào)壓腔壓力有從先導(dǎo)級流入調(diào)壓腔的氣體流量，氣體流經(jīng)介于調(diào)壓腔與排氣腔之間的氣動活塞上的節(jié)流孔的流量，以及因氣動活塞移動而帶來的調(diào)壓腔的體積變化三大因素。上述三個因素中的后兩個由減壓閥的結(jié)構(gòu)和所處的工作狀態(tài)決定，控制調(diào)壓腔的壓力主要從控制先導(dǎo)級流入調(diào)壓腔的氣體流量入手。 具體實現(xiàn)過程：首先由壓力傳感器檢測輸出壓力與設(shè)定壓力的偏差，該偏差信號傳送給控制器，控制器按其算法給出比例電磁鐵的控制信號，該控制信號與先導(dǎo)閥的復(fù)位彈簧共同作用，使得閥芯調(diào)整到一個新的位置，即改變了先導(dǎo)閥閥II的開度，流入調(diào)壓腔的氣流流量發(fā)生變化，從而改變了調(diào)壓腔的壓力。穩(wěn)態(tài)工作時調(diào)壓腔進出口的流量相當(dāng)，調(diào)壓腔氣體的壓力處于動態(tài)平衡狀態(tài)。

      先導(dǎo)級進氣引自主閥的進氣腔a，小股氣體流經(jīng)先導(dǎo)閥閥口，調(diào)壓腔，再通過氣動活塞上的節(jié)流口流入排氣腔。按液壓半橋的分析方法來分析該減壓閥的先導(dǎo)氣路，該先導(dǎo)級的氣路結(jié)構(gòu)屬于C型半橋的結(jié)構(gòu)，即輸入端氣體阻尼是可變的，輸出端氣體阻尼是固定的。